Отраслевые применения

Главная страница

Отраслевые применения

Полировальная жидкость

Химическая механическая планаризация (CMP), также известная как химическая механическая полировка, представляет собой комбинацию методов механического истирания и химической коррозии. Он опирается на абразивное действие ультратонких частиц и химической коррозии для создания гладкой и плоской поверхности на полированной среде. Технология CMP-это новый метод полировки, используемый в основном в полупроводниковой промышленности. Основными компонентами процесса CMP являются заготовка, полировальная подушка и полировальная жидкость. Полировальная жидкость обычно состоит из абразивов, окислителей и балансирующих растворителей, таких как деионизированная вода или спирт, а также может содержать некоторые добавки в зависимости от конкретных условий. Полируя жидкость обеспечивает химическое действие через химию решения и механическое действие через абразивы. Абразивы играют решающую роль в передаче механической энергии на полированную поверхность. Для достижения лучших результатов полировки необходимо контролировать размер частиц, твердость и дисперсию абразивов. Размер абразива должен быть менее 1 мкм, так как чрезмерно большие или маленькие абразивные размеры могут увеличить царапины на полированной поверхности и снизить качество полировки. Фильтровать полируя жидкость метод улучшить полируя качество, и выбирать соотвествующую систему фильтрации может эффектно увеличить полируя представление полируя жидкости.

Цель фильтрации

● Для удаления загрязнений, таких как негабаритные частицы и агломераты, сохраняя при этом подходящие полировальные абразивные частицы.

Требования приложения

● Низкое растворение фильтрующего материала во время процесса фильтрации, без выпадения среды.

● Фильтр промывается чистой водой, и общее содержание органического углерода (TOC) находится в пределах указанного диапазона.

● Терминальный фильтр имеет превосходные надежность и стойкость в контролировать частицы примеси, обеспечивающ что загрязняющие елементы не разгружены когда изменение подачи или давления происходят.

Скорость потока ● высокая, крепкая структура, и сильная фильтруя емкость соотвествовать полируя жидкостной фильтрации.

Рекомендуемые продукты